五氟化鉭
五氟化鉭，化學式TaF5，白色結晶。折光能力強。相對密度4.74。熔點96.8℃。沸點229.5℃。稍溶于熱的二硫化碳和四氯化碳溶液中，溶于水和乙醚生成氟氧絡合離子TaOF52-和氟化氫，亦溶于氫氟酸、硝酸、發煙硝酸。在空氣中吸濕而不水解。能緩慢腐蝕玻璃。氟化金屬鉭制得。也可由五氯化鉭和無水氟化氫作用制得。用作傅-克反應的催化劑。用于生產電容器，也用于化學氣相沉積。鉭粉直接氟化可制取純度大于99%的產品。在微電子工業中用作氣相淀積硅化鉭或鉭，以制作低電阻高熔點的互連線。
